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静电吸附盘
静电吸附盘(ESC)是对内置金属电极外施压力，被吸附物和静电吸盘的表面产生正负电荷，通过正负电荷产生的静电力固定被吸附物。
一体烧结型
1.耐等离子性能好
2.在高温域也可使用
3.也可加热器一体化
4.通过再加工，可修复。
溶射型
1.相对一体烧结ESC有价格优势。
2.因溶射膜和基材的热膨胀系数不同，不适合在高温下使用
3.基材可修复
树脂型
1.价格有竞争优势
2.耐等离子性能较弱
3. 因材质的特性，不适合在高温下使用
ALN材质ESC优势
ALN材质可采用接合技术对陶瓷中空部位和陶瓷轴进行安装
通过控制ALN的体积电阻率，可获得大范围温度分布和充分的吸附力。
