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真空吸附盘(Pin Chuck)

真空吸附盘主要运用于半导体前后道设备上，在制造和加工过程中对晶圆进行固定，同时也可运用于晶圆检测设备。

产品优势
1.可提供：2ch……12inch、18inch
2.高可靠性，高平整度18inch可以做到0.1745μm
3.独特的整体抛光技术减少Partical
4.可根据晶圆面型进行定制
技术介绍：平面度≤0.1 μm，整体平整度≤0.3μm